设备具有12路单独的气路控制单元,进气稳压阀以及气体流量计均为美国,可实现用户自行设置气体流量,经由气体混合器进入到反应器。设备压力具有0-10MPa区间的调力。气体包括:SO2:2%,:2%,NH3:2%,... ...
氢气和氩气经气体预热炉预热(单独预热,预热温度均为560℃)后,氩气进入NbCl5气化罐内(图2),载带NbCl5蒸汽,在阀门V6的后端与氢气混合,混合后进入沉积室下端,经过气体分布板,进入沉积室内部(图2),沉积... ...
软件能时实完成三个电子天平的数据读取。 总体设备能的技术要求 各部分能要求如下: 配气部分:完成3路气体的计量控制、混合任务,其中每路包括稳压控制、压力显示、质量流量显示和控制; ... ...
配气部分:完成1~11路气体的计量控制、混合任务,其中每路包括稳压控制、压力显示、质量流量显示和控制;多路气体分别计量后进入同一个混合罐充分混合,Φ6不锈钢管线连接,连接件与Swagelock\Parker标准兼容... ...